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技術文章
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    半導體工廠氣體檢測儀
    型　號：PS-2DKP
    品　牌：日本新宇宙
    技術指標：檢測 SiH4（SiO2）
    清徐半導體工廠氣體檢測儀-PS-2DKP-日本新宇宙
    型號 PS-2DKP 
    檢測原理 定電位電解式+光散射式
    檢測氣體對象 SiH4（SiO2）
    指示范圍 SiH425ppm/SiO210mg/cm3
    傳感器供給電源 由各指示計組件供給
    泵電源 DC24V±10%
    可延長距離 1km（使用2mm2線）
    檢測方式 泵吸引式
    防爆結構 非防爆結構
    使用溫度范圍 0℃～40℃
    使用電纜線 2芯+2芯屏蔽電纜線
    重量 約6.2kg

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