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半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀
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型 號(hào):
PS-2DKP
品 牌:
日本新宇宙
技術(shù)指標(biāo):
檢測(cè) SiH4(SiO2)
產(chǎn)品介紹
品牌簡(jiǎn)介
林芝半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀-PS-2DKP-日本新宇宙
型號(hào)
PS-2DKP
檢測(cè)原理
定電位電解式+光散射式
檢測(cè)氣體對(duì)象
SiH4(SiO2)
指示范圍
SiH425ppm/SiO210mg/cm3
傳感器供給電源
由各指示計(jì)組件供給
泵電源
DC24V±10%
可延長(zhǎng)距離
1km(使用2mm2線)
檢測(cè)方式
泵吸引式
防爆結(jié)構(gòu)
非防爆結(jié)構(gòu)
使用溫度范圍
0℃~40℃
使用電纜線
2芯+2芯屏蔽電纜線
重量
約6.2kg
,
,
服務(wù)承諾
公司實(shí)力
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