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基于音速噴嘴的molbloc,氣流最高可達(dá)5,000 slm molbloc-S® 是一種高精確度的傳送標(biāo)準(zhǔn),適用于校準(zhǔn)其他傳送標(biāo)準(zhǔn)或過程流量計(jì)和控制器。molbloc-S 與 molbox1+ 或 molbox RFM™ 終端配合,浮子流量計(jì),可擴(kuò)展 molbloc/molbox™ 校準(zhǔn)系統(tǒng)的量程,并且為中高流量提供出眾的準(zhǔn)確度,F(xiàn)有的 molbox1 終端配備了 4.0 或更高版本的嵌入軟件,金屬轉(zhuǎn)子流量計(jì),而所有 molbox1+ 終端都能與 molbloc-S 結(jié)合使用。 特性一覽 · 對于 N2 和空氣,覆蓋高達(dá) 5,000 slm 的量程 · 可與 molbox1+ 或現(xiàn)有的 molbox1 和 molbox RFM 質(zhì)量流量終端以及 COMPASS 軟件結(jié)合使用 · 重量校準(zhǔn)支持可靠的流量文氏管(音速)噴嘴操作原則 · 污染物敏感度極低
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測量不確定度: · 可以使用空氣、N2、Ar、H2、He、N2O 和其他校準(zhǔn)氣體,科里奧利質(zhì)量流量計(jì),可以對環(huán)境氣體進(jìn)行潮濕氣體密度補(bǔ)償 · 利用 molbox1+S 或其他 molbox 型號加上真空,可實(shí)現(xiàn)卓越的量程可調(diào)性(10:1 調(diào)節(jié))。 · 冗余的上游絕壓測量使用 molbox 絕壓傳感器來降低不確定度并提高可靠性 · 完整的氣體溫度調(diào)節(jié)和測量 · 連續(xù)、實(shí)時(shí)的讀數(shù),就像傳統(tǒng)的 molbloc-L 層流元件一樣 · 可以實(shí)現(xiàn)全自動 molbloc-S量程 通過 molbloc-S 的質(zhì)量流速可直接與上游絕壓以及獨(dú)立的下游壓力或壓力差成比例。molbloc-S 流量量程由 molbloc 的壓力到流量轉(zhuǎn)化率 KF 定義。KF 的單位為 sccm/kPa,它定義了質(zhì)量流量與傳送到 molbloc-S 的上游絕壓之間的關(guān)系。molbloc-S 校準(zhǔn)工作是針對與 20 到 200 kPa(3 到 30 psia)、50 到 500 kPa(7 到 70 psia)或 200 kPa 到 2 MPa(30 到 300 psia)的上游壓力相對應(yīng)的量程執(zhí)行的。 為了使流量測量有效,molbloc-S 文丘管噴嘴處的流量是最重要的,例如,氣體速度等同于本地音速。當(dāng)背壓率足夠低時(shí)可以達(dá)到關(guān)鍵流量,或保持 BPR 不變(molbloc-S 下游絕壓除以上游絕壓)。關(guān)鍵流量可接受的 molbloc-S BPR 值的上限介于 0.5 和 0.9 之間,具體取決于流量的雷諾數(shù)。 由于通過 molbloc-S 的質(zhì)量流量與上游絕壓成比例,液體流量計(jì),molbloc-S 的流量量程在應(yīng)用中的限值受 BPR 限值的影響。要使 molbloc-S 元件的量程最大化,必須在下游連接一個真空泵,減少流動時(shí)的下游壓力。當(dāng)下游壓力足夠低時(shí),就可以將上游壓力以及質(zhì)量流速調(diào)節(jié)到針對 molbloc 校準(zhǔn)類型的最小值,而不再受 BPR 限值的限制。如果 molbloc-S 使用大氣壓作為下游(無真空泵),則molbloc 所使用的上游壓力必須介于其校準(zhǔn)類型的最大壓力到當(dāng) BPR 等于當(dāng)前雷諾數(shù)下的 BPR 限值時(shí)的最小壓力之間。molbox1 終端包括了一些功能,可測量 BPR,在 BPR 值過高時(shí)自動提示操作人員,避免在流量非關(guān)鍵時(shí)進(jìn)行測量。
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